气体圈子讯:根据相关监管机构披露,华特气体控股子公司江西华特电子化学品有限公司年产15吨乙硅烷项目环评审批获原则同意。该项目总投资额达1.52亿元。该项目总投资额达1.52亿元,生产规模为产品乙硅烷15吨/年,副产品甲硅烷200吨/年、硅酸钠溶液295吨/年、硅粉5.1吨/年,主体工程主要为依托现有103车间右下分区车间,新增生产设备进行乙硅烷生产。
在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多, 且温度可降低200~300℃。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。乙硅烷系作为有机乙硅烷工艺的重要单体,高纯度乙硅烷可用作半导体制造离子注入制程的离子流材料,其束流强,效果好于其它材料,应用前景广阔。华特气体2021年6月曾在投资者互动平台表示,乙硅烷当时市场价格大约2500万-3000万/吨,项目建设达成预计是2022年中旬。
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