调整有关协定税率，推进高水平对外开放。2021年12月15日，国务院关税税则委员会以税委会〔2021〕18号文，发布《关于2022年关税调整方案的通知》。调整方案自2022年1月1日起实施。气体圈子有幸参与了本次关税调整中特种气体市场数据调研支持。本次关税调整降低了包括磷烷、砷烷、氦气、三氟化硼、氨气在内的多种气体的进口关税。
关税调整有助于促进我国半导体产业发展
磷烷、砷烷均为半导体工艺中非常重要的电子气体，多用于离子注入、掺杂等工艺中。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。砷烷主要用于外延硅的 N 型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓，以及与IIIA/VA族元素形成半导体化合物等。三氟化硼-11 (11BF3)气体在工业生产上的有很多方面的应用，可以用于电子工业和光纤工业，可作为制备光纤预制件的原料，是硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源。在半导体制造过程中11BF3是重要的离子注入气体，同时作为硼掺杂剂用于硅离子布植方面，生产出的芯片具有高集成、高密度特点，且体积小、性能优越。
上述调整措施有利于维护国内产业链供应链安全稳定，支持经济跨周期平稳运行并长期向好；有利于引导资源配置，支持科技创新和产业转型升级，促进绿色低碳发展；有利于发挥我国超大规模市场优势，主动参与全球产业链重塑，构建面向全球的高标准自由贸易区网络，持续推进高水平对外开放。
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《全球电子稀有气体市场研究 2021版》
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